工業(yè)測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)，特別在電子行業(yè)，是觀察電路板的構(gòu)造和精確測(cè)量距離的“得力”儀器。關(guān)于顯微鏡的測(cè)量基礎(chǔ)知識(shí)，今天小編就和您淺聊一下。

一起走進(jìn)顯微鏡的世界

首先，我們從顯微鏡的主要構(gòu)成和光路說(shuō)起，請(qǐng)看下圖：

照‖明‖方‖式

透射照明

采用透過(guò)輪廓光觀察的方法，特別是觀察測(cè)量輪廓時(shí)使用，邊緣清晰易于觀察。

反射照明

垂直照射測(cè)量工件的表面，用來(lái)表面性狀的觀察和測(cè)量。

使用顯微鏡時(shí)，您可能會(huì)遇到顯微鏡的專業(yè)用語(yǔ)，這些用語(yǔ)都代表什么意思呢？

?！瑯I(yè)‖用‖語(yǔ)

綜合放大倍率

視場(chǎng)數(shù)F.N

指目鏡能否在廣視野下進(jìn)行觀察的指標(biāo)。F.N=Field Number

實(shí)視場(chǎng) FOV

指通過(guò)目鏡觀察時(shí)實(shí)際觀察和觀察工件的實(shí)際范圍。FOV：Field Of View

透過(guò)物鏡與成像鏡頭的光在分劃板上（成像鏡頭焦點(diǎn)位置）成像，

觀察被目鏡放大后的像。

PC顯示倍率(TV綜合倍率）

PC顯示器倍率（TV綜合倍率）是指相機(jī)攝像元件對(duì)角線長(zhǎng)度與PC顯示器屏幕對(duì)角線長(zhǎng)度之比。當(dāng)顯微鏡通過(guò)CCD 設(shè)備連接至電腦上進(jìn)行成像觀察時(shí)，就需要評(píng)價(jià)顯示器倍率了。

工作距離 WD

聚焦時(shí)物鏡鏡頭頭部頂點(diǎn)到檢查物體表面的距離。工作距離越長(zhǎng),聚焦時(shí)操作性越好,不用擔(dān)心鏡頭會(huì)碰上檢查物體。WD：Working Distance

工作距離的示意圖

齊焦距離 PFD

聚焦時(shí)從物鏡安裝位置到合焦時(shí)檢查物體表面的距離。PFD：Par Field Distance

焦點(diǎn)距離 FD

焦點(diǎn)距離指鏡頭（主點(diǎn)）到焦點(diǎn)的距離。FD：Focus Distance

焦點(diǎn)深度 DOF

聚焦之后,聚焦位置前后移動(dòng),也能清晰的觀察的前后移動(dòng)范圍。DOF：Depth Of Focus

高倍率鏡頭倍率越高較深越淺（短）

觀‖察‖方‖法

 明視場(chǎng)觀察 

垂直照射測(cè)量物表面，適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。

 暗視場(chǎng)觀察 

通過(guò)對(duì)從工件發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察，可完成在明視場(chǎng)下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸，以及勝任低反射工件的觀察。

 偏光觀察 

觀察具有偏光特性的物質(zhì)，適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物等表面觀察。

 微分干涉（DIC）觀察 

利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對(duì)比度變化，可進(jìn)行立體觀察。適用于觀察硅片的結(jié)晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。

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