*1: 所得數(shù)值是在標(biāo)準(zhǔn)偏差 ±2 時(shí)，每間隔 0.32 秒測(cè)量 ?60mm 工件一次得出的 (平均 1024 次)。
*2: 在測(cè)量區(qū)域中心。
*3: ΔD= 校正規(guī)和工件的直徑差。
*4: 在測(cè)量區(qū)域中由于工件定位的變化造成可能的測(cè)量錯(cuò)誤。
*5: 給定區(qū)域： [光軸方向]×[掃描方向]。
*6: 如果測(cè)量裝置外窗的工件或玻璃被水和灰塵侵蝕，測(cè)量裝置有可能發(fā)生故障。